Терагерцовый имиджинг микроэлектронных устройств

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Терагерцовый имиджинг микроэлектронных устройств	393 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Терагерцовый имиджинг микроэлектронных устройств
Creator: Бердюгин, Александр Игоревич
|
Жакупов, Сергей Николаевич
Date: 2020
Description: Работа посвящена исследованию метода неинвазивного контроля микроэлектронных устройств, основанного на использовании результатов пост-анализа процесса взаимодействия электромагнитных волн терагерцового (ТГц) диапазона частот с объектами микроэлектроники. В эксперименте используется спектрометр ТГц диапазона, генерирующий непрерывный квазиоптический пучок, через который последовательно (шаг за шагом) перемещается исследуемый

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Радиофизический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Труды семнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, г. Томск, 11–15 мая 2020 г.. Томск, 2020. С. 33-36
Language: rus

Created: 10-03-2021

535 Visitors

346 Hits

203 Downloads

Радиофизический факультет Терагерцовый имиджинг микроэлектронных устройств