Приводятся данные экспериментальных исследований о структуре и свойствах нанокристаллических упрочняющих слоев нитрида титана с примесями атомов меди, кремния, алюминия, полученных вакуумным плазменно-ассистированным методом электродугового нанесения. Предложена модель наноструктурирования таких покрытий. Согласно предлагаемой модели, нанокристаллизация в этих материалах обусловлена атомами примеси, которые, образуя аморфную оболочку вокруг криcталлита, ограничивают его размеры.