Ibe yesuhs of research of the temperature depenc^euces of resistance and respor,se of the hydrogen sensors based on the thin fihns of PtiPd/Au'Sn02:Sb, Ag, ¥ and Ait/S?i02.'Sb, Ag, Y are presented in this work. The catalytic layers PdPdrAu lead to high sensitivin' of sensots to exposure of hydrogen. The range of operating temperatures of the hydrogen sensors is 600 — 720 K.
Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Россия, Томск, 25-28 апреля 2017 г.. Томск, 2017. Т. 1 : Физика. С. 162-164
Сибирский физико-технический институт
Температурная зависимость характеристик сенсоров H2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y и Au/SnO2:Sb, Ag, Y