Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц

doi:10.17223/00213411/67/9/7

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

2024

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц	1003 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/67/9/7

#магнетронное распыление

#стекло

#двухслойное защитное покрытие

#высокоскоростные частицы

#удары

#кратеры

Title: Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц
Creator: Турсунханова, Рыскуль Болаткызы
|
Сергеев, Виктор Петрович
|
Калашников, Марк Петрович
|
Сергеев, Олег Викторович
|
Воронов, Андрей Викторович
|
Христенко, Юрий Федорович
|
Жалнин, Евгений Викторович
Date: 2024
DOI: 10.17223/00213411/67/9/7
Description: Исследованы структура и свойства полученных методом импульсного магнетронного распыления тонких двухслойных пленок на кварцевых подложках: I – на основе Ta/AlSiN и II – на основе AlSiN/TaN. Величина светопропускания в видимом и ультрафиолетовом диапазонах, определенная по спектральным кривым, имеет среднее значение, близкое 59 и 24% соответственно. Оба слоя AlSiN в покрытии I и верхний слой TaN в покрытии II формируются в наноструктурном состоянии, нижний слой AlSiN в покрытии II разделяется на два: прилежащий к подложке – аморфный, располагающийся выше него – в аморфно-кристаллическом состоянии. Покрытие II имеет более высокую адгезию к кварцевой подложке по сравнению с покрытием I. Установлено, что покрытие I на основе Ta/AlSiN имеет более высокие на 15–20% механические свойства, такие как микротвердость и коэффициент упругого восстановления, что придает стеклу более высокий защитный эффект от локальных микроповреждений поверхности (кратеров) при ударах высокоскоростных микрочастиц железного порошка.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): НИИ прикладной математики и механики | Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2024. Т. 67, № 9. С. 66-74
Language: rus

Created: 22-10-2024

334 Visitors

341 Hits

5 Downloads

НИИ прикладной математики и механики

Журналы ТГУ Влияние прозрачных пленок на основе Ta, Si, Al, N на локальные повреждения поверхности кварцевых пластин при воздействии высокоскоростного потока микрочастиц