Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
электроника
|
Щеголь, Сергей Степанович
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Микроэлектронные сенсоры давления
453 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Микроэлектронные сенсоры давления
Creator
Криворотов, Николай Павлович
Creator
Изаак, Татьяна Ивановна
Creator
Ромась, Лариса Михайловна
Creator
Щеголь, Сергей Степанович
Creator
Свинолупов, Юрий Григорьевич
Contributor
Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Subject
электроника
сенсорная микроэлектроника
сенсоры давления
кремний
кристаллы
микромеханика
нанотехнологии
микроэлектронные сенсоры давления
научные исследования
труды ученых ТГУ
Date
2005
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Химический факультет
Журналы ТГУ
Identifier
vtls:000328939
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000328939
Type
статьи в журналах
Source
Вестник Томского государственного университета. 2005. № 285 : Серия "Физика". С. 139-147
Language
rus
2598 Visitors
2366 Hits
261 Downloads
Preview
Журналы ТГУ
Химический факультет
Микроэлектронные сенсоры давления
^ DIV >