Authors: Yesin, Michael Yu. | Nikiforov, Alexander I. | Deryabin, Alexander S. | Timofeev, Vyacheslav A.

Source: 2020 21st International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices (EDM). [S. l.], 2020. P. 36-41

Type: статьи в сборниках

Date: 2020

Description: In this paper, the motion of steps SA and SB on the Si(100) surface in the process of Si Molecular beam epitaxy (MBE) is explored. The study was carried out by means of the reflection intensity depend ... More

Authors: Есин, Михаил Юрьевич | Никифоров, Александр Иванович | Тимофеев, Вячеслав Алексеевич | Машанов, Владимир Иванович | Туктамышев, Артур Раисович | Лошкарев, Иван Дмитриевич | Пчеляков, Олег Петрович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 11. С. 13-19

Type: статьи в журналах

Date: 2017

Description: Проведены исследования зарождения островков Ge на ступенчатой поверхности Si(100). По дифракции быстрых электронов показано, что при температуре 600 оС при неизменном потоке Si со скоростью осаждения ... More