Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Солдатов, Анатолий Николаевич
|
2018
|
хрупкие материалы
|
Юрин, Владимир Юрьевич
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники
100 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники
Creator
Юрин, Владимир Юрьевич
Creator
Шумейко, Алексей Семенович
Creator
Полунин, Юрий Петрович
Creator
Грибанов, Никита Сергеевич
Creator
Солдатов, Анатолий Николаевич
Subject
кремниевые подложки
лазерная сварка
хрупкие материалы
стеклянные подложки
микроэлектроника
Date
2018
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Факультет инновационных технологий
Identifier
vtls:000666605
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000666605
Type
статьи в сборниках
Source
Лазерно-информационные технологии в медицине, биологии, геоэкологии и на транспорте – 2018 : труды XXVI Международной конференции, г. Новороссийск, Краснодарский край, 10-15 сентября 2018 г.. Новороссийск, 2018. С. 47-48
Language
rus
1174 Visitors
1001 Hits
190 Downloads
Preview
Факультет инновационных технологий
Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники
^ DIV >