Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета

Add to Quick Collection   All 5 Results

Showing items 1 - 5 of 5.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда
Authors: Семенова, Ирина Александровна (канд техн. наук) | Цыренов, Дмитрий Бадма-Доржиевич | Николаев, Эрдэм Олегович | Семенов, Александр Петрович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 102-108
Type: статьи в журналах
Date: 2020
Description: Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики ... More
Add   Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления
Authors: Захаров, Александр Николаевич | Соловьев, Андрей Александрович | Оскомов, Константин Владимирович | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Сыртанов, Максим Сергеевич | Бордулев, Юрий Сергеевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 8. С. 65-69
Type: статьи в журналах
Date: 2017
Description: Приведены результаты экспериментов по осаждению тонких пленок молибдена на стеклянные подложки методом сильноточного импульсного магнетронного распыления. Использовались два сильноточных режима, отлич ... More
Add   Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы
Authors: Борисов, Дмитрий Петрович | Кузнецов, Владимир Михайлович (физик) | Романов, Василий Яковлевич | Терехов, Павел Алексеевич | Коротаев, Александр Дмитриевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 62-64
Type: статьи в журналах
Date: 2014
Add   Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
Authors: Sochugov, Nikolay S. | Zakharov, Alexander N. | Oskirko, V. O. | Semenov, Vladimir A. | Semenyuk, N. S. | Kozyrev, Andrey V.
Source: Russian physics journal. 2012. Vol. 55, № 2. P. 195-201
Type: статьи в журналах
Date: 2012
Add   Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
Authors: Козырев, Андрей Владимирович (физик) | Сочугов, Николай Семенович | Захаров, Александр Николаевич | Оскирко, Владимир Олегович | Семенов, Вячеслав Аркадьевич | Семенюк, Наталья Степановна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2012. Т. 55, № 2. С. 61-67
Type: статьи в журналах
Date: 2012
Description: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсными магнетронными распылительными системами при их работе в сбала ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »

Creator

Date

Subject

^