Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
2018

Add to Quick Collection   All 3 Results

Showing items 1 - 3 of 3.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Properties of gallium oxide films obtained by HF-magnetron sputtering
Authors: Kalygina, V. M. | Novikov, Vadim A. | Prudaev, Ilya A. | Tolbanov, Oleg P. | Tyazhev, Anton V. | Lygdenova, T. Z.
Source: Russian physics journal. 2018. Vol. 60, № 11. P. 1911-1916
Type: статьи в журналах
Date: 2018
Description: The results of an analysis of structure and phase composition of gallium oxide films obtained by HF-magnetron sputtering are presented. It is shown that in the interval 290–350 K, the increase in the ... More
Add   Особенности структуры покрытий нитрида титана в разрезах поверхности подложки
Authors: Кузнецов, Владимир Михайлович (физик) | Овчинников, Станислав Владимирович | Слабодчиков, Владимир Андреевич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 11. С. 51-61
Type: статьи в журналах
Date: 2018
Description: С использованием методик микрорентгеноспектрального анализа, оже-электронной спектроскопии и электронно-микроскопического темнопольного анализа изгиба-кручения кристаллической решётки выполнено исслед ... More
Add   Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок
Authors: Сачков, Виктор Иванович | Сосновский, Сергей Александрович | Жек, Валентина Владимировна | Малиновская, Татьяна Дмитриевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 7. С. 52-57
Type: статьи в журналах
Date: 2018
Description: Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность о ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^