С использованием растровой (методом дифракции обратно рассеянных электронов) и просвечивающей электронной микроскопии проведено исследование влияния микроструктуры сплава V–Cr–Ta–Zr на скорость образования поверхностной окалины в процессе химико-термической обработки этого сплава с использованием окисления на воздухе. Показано, что предшествующая пластическая деформация, обеспечивающая кратное увеличение плотности дислокаций и границ разориентации, приводит к 10 %-му увеличению толщины поверхностного оксидного слоя и соответствующему повышению концентрации кислорода в сплаве на заключительном этапе химико-термической обработки. Обсуждается роль этого фактора при разработке режимов химико- термической обработки.