Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Цупий, Светлана Юрьевна
|
Новиков, Вадим Александрович
|
2014
|
термический отжиг
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si
2 MB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si
Creator
Калыгина, Вера Михайловна
Creator
Петрова, Юлианна Сергеевна
Creator
Толбанов, Олег Петрович
Creator
Черников, Евгений Викторович
Creator
Цупий, Светлана Юрьевна
Creator
Яскевич, Тамара Михайловна
Creator
Новиков, Вадим Александрович
Contributor
Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ
Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Subject
термический отжиг
пленки оксида титана
оксиды титана
кислородная плазма
Date
2014
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Сибирский физико-технический институт
Радиофизический факультет
Научное управление
Identifier
vtls:000495303
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000495303
Type
статьи в журналах
Source
Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 7. С. 989-994
Language
rus
1467 Visitors
1133 Hits
370 Downloads
Preview
Сибирский физико-технический институт
Радиофизический факультет
Научное управление
Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si
^ DIV >