Please be patient while the object screen loads.
Description | Size | Format | ||
---|---|---|---|---|
Формирование силицидных пленок металлов ионными методами | 430 KB | Adobe Acrobat PDF | View Details | Download |
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя | 10.51368/1996-0948-2022-6-68-75 |