The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
The application of an assisting gas plasma generator	1 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.1088/1742-6596/652/1/012058

Title: The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys
Creator: Potekaev, Aleksandr I.
|
Tabachenko, Anatolii N.
|
Dudarev, E. F.
|
Melnikova, E. A.
|
Shulepov, I. A.
|
Savostikov, Viktor M.
Contributor: Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Date: 2015
DOI: 10.1088/1742-6596/652/1/012058

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Сибирский физико-технический институт
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Journal of Physics: Conference Series. 2015. Vol. 652. P. 012058 (1-6)
Language: eng

Created: 30-11-2015

2137 Visitors

1828 Hits

332 Downloads

Сибирский физико-технический институт The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys