Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
магнетронное напыление
|
оксиды титана
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках
825 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках
Creator
Калыгина, Вера Михайловна
Creator
Петрова, Юлианна Сергеевна
Creator
Толбанов, Олег Петрович
Creator
Черников, Евгений Викторович
Creator
Цупий, Светлана Юрьевна
Creator
Яскевич, Тамара Михайловна
Creator
Новиков, Вадим Александрович
Contributor
Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ
Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Subject
пленки оксида титана
оксиды титана
подложки кремниевые
магнетронное напыление
Date
2014
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Сибирский физико-технический институт
Радиофизический факультет
Научное управление
Identifier
vtls:000495290
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000495290
Type
статьи в журналах
Source
Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 6. С. 759-762
Language
rus
1229 Visitors
992 Hits
257 Downloads
Preview
Сибирский физико-технический институт
Радиофизический факультет
Научное управление
Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках
^ DIV >