Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович | Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Владимир Иванович | Бутенко, Павел Николаевич | Щеглов, Михаил Петрович | Чикиряка, Андрей Викторович | Печников, Алексей Игоревич

Source: Физика и техника полупроводников. 2023. Т. 57, № 3. С. 145-152

Type: статьи в журналах

Date: 2023

Description: Исследовано влияние H2, NH3, CO и O2 на электропроводящие свойства пленок In2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 200-550oC пленки In2O3 демонстрируют газовую ... More

Authors: Алмаев, Дмитрий Александрович | Алмаев, Алексей Викторович | Копьев, Виктор Васильевич | Николаев, Владимир Иванович | Печников, Алексей Игоревич | Степанов, Сергей Игоревич | Бойко, Михаил Евгеньевич | Бутенко, Павел Николаевич | Щеглов, Михаил Петрович

Source: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 22. С. 24-27

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Методами хлоридной парофазной эпитаксии и магнетронного распыления получены гетероструктуры α-Ga2O3/α-Cr2O3 со структурой корунда. Исследованы структурные, электропроводящие и фотоэлектрические свойст ... More