Authors: Шевелев, Алексей Эдуардович | Сивин, Денис Олегович | Дектярев, Сергей Валентинович | Корнева, Ольга Сергеевна | Рябчиков, Александр Ильич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 54-66

Type: статьи в журналах

Date: 2020

Description: Высокоинтенсивная имплантация низкоэнергетических ионов в различные материалы демонстрирует возможность образования протяженных, легированных ионами слоев толщиной десятки и даже сотни микрометров. Гл ... More

Authors: Рябчиков, Александр Ильич | Сивин, Денис Олегович | Шевелев, Алексей Эдуардович | Ананьин, Петр Семенович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 7. С. 139-146

Type: статьи в журналах

Date: 2018

Description: Представлены результаты экспериментальных исследований по плазменно-иммерсионному формированию баллистически сфокусированных пучков ионов титана низкой энергии с длительностью импульса до 30 мкс. Расс ... More

Authors: Рябчиков, Александр Ильич | Ананьин, Петр Семенович | Шевелев, Алексей Эдуардович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2016. Т. 59, № 6. С. 125-130

Type: статьи в журналах

Date: 2016

Description: Изучено влияние нормального и тангенциального к поверхности катода магнитных полей и короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения отрицательной полярности на накопление макрочастиц на потен ... More