Authors: Николаев, Владимир Иванович | Алмаев, Алексей Викторович | Кушнарев, Богдан Олегович | Печников, Алексей Игоревич | Степанов, Сергей Игоревич | Чикиряка, Андрей Владимирович | Тимашов, Роман Борисович | Щеглов, Михаил Петрович | Бутенко, Павел Николаевич | Черников, Евгений Викторович

Source: Письма в журнал технической физики. 2022. Т. 48, № 14. С. 37-41

Type: статьи в журналах

Date: 2022

Description: Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 прояв ... More

Authors: Алмаев, Алексей Викторович | Николаев, Виктор Иванович | Степанов, Сергей Игоревич | Яковлев, Никита Николаевич | Печников, Алексей Игоревич | Черников, Евгений Викторович | Кушнарев, Богдан Олегович

Source: Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55, № 3. С. 269-276

Type: статьи в журналах

Date: 2021

Description: Исследовано влияние влажности окружающей среды на электрическую проводимость структур a-Ga2O3 и a-Ga2O3/"-Ga2O3. Полиморфные эпитаксиальные слои Ga2O3 осаждались методом хлоридной газофазной эпитаксии ... More