Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
ионная имплантация

Add to Quick Collection   All 5 Results

Showing items 1 - 5 of 5.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Исследование эффектов синергии высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний и энергетического воздействия ионного пучка на поверхность
Authors: Вахрушев, Димитрий Олегович | Гурулев, Александр Валерьевич | Ефимов, Дмитрий Давидович | Иванова, Анна Ивановна | Корнева, Ольга Сергеевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 4. С. 134-137
Type: статьи в журналах
Date: 2023
Description: Изучен метод глубокого ионного легирования материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации и энергетического воздействия на поверхность пучка ионов с высокой плотностью мощности субм ... More
Add   Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги
Authors: Рябчиков, Александр Ильич | Дектярев, Сергей Валентинович | Корнева, Ольга Сергеевна | Вахрушев, Димитрий Олегович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 138-144
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Развитие метода улучшения эксплуатационных свойств различных материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и одновременного энергетического воздействия на поверхность, нацеле ... More
Add   Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность
Authors: Иванова, Анна Ивановна | Блейхер, Галина Алексеевна | Вахрушев, Димитрий Олегович | Корнева, Ольга Сергеевна
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2022. Т. 65, № 11. С. 65-69
Type: статьи в журналах
Date: 2022
Description: Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Метод высокоинтенсивной имплантации пучками ионов ... More
Add   Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии
Authors: Иванова, Анна Ивановна | Корнева, Ольга Сергеевна | Сивин, Денис Олегович | Рябчиков, Александр Ильич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 157-165
Type: статьи в журналах
Date: 2020
Description: Проведены численное моделирование и экспериментальные исследования для определения реальных температур поверхностных и приповерхностных слоев различных материалов в зависимости от режимов высокоинтенс ... More
Add   Формирование, фокусировка и транспортировка высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии
Authors: Шевелев, Алексей Эдуардович | Сивин, Денис Олегович | Дектярев, Сергей Валентинович | Корнева, Ольга Сергеевна | Рябчиков, Александр Ильич
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 54-66
Type: статьи в журналах
Date: 2020
Description: Высокоинтенсивная имплантация низкоэнергетических ионов в различные материалы демонстрирует возможность образования протяженных, легированных ионами слоев толщиной десятки и даже сотни микрометров. Гл ... More
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^