Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики

doi:10.17223/00213411/62/11/143

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики	900 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/62/11/143

#антиотражающие покрытия

#защитные покрытия

#ИК-диапазон

#плазмохимический синтез

#оптические свойства

Title: Плазмохимическое осаждение антиотражающего и защитного покрытия для ИК-оптики
Creator: Оскомов, Константин Владимирович
|
Соловьев, Андрей Александрович
|
Селиванова, Александра Васильевна
|
Конищев, Максим Евгеньевич
|
Гренадеров, Александр Сергеевич
Date: 2019
DOI: 10.17223/00213411/62/11/143
Description: Пленки аморфного гидрогенизированного углерода, легированного Si и O, наносились на образцы кристаллического кремния методом плазмохимического осаждения в смеси паров полифенилметилсилоксана и аргона. Исследовались физико-механические и оптические свойства пленок для использования в качестве антиотражающих и защитных покрытий в устройствах ИК-оптики. Прозрачность пленок в диапазоне длин волн 2.5-8 мкм измерялась методом инфракрасной спектроскопии с фурье-преобразованием. Структура и состав пленок изучались методами рамановской и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Твердость и другие механические свойства пленок определялись с помощью наноиндентирования. Показано, что двухстороннее нанесение a-C:H:SiO x -пленок на Si-пластины позволяет повысить их интегральную пропускную способность в области длин волн 3-5 мкм с 50 до 87 %. При этом пленки обладают отличными механическими характеристиками, термостойкостью в диапазоне температур от комнатной до 500 °С и стойкостью к водным растворам соли.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 143-150
Language: rus