Электронная библиотека (репозиторий) Томского государственного университета
эпитаксиальные слои кремния

Add to Quick Collection   All 5 Results

Showing items 1 - 5 of 5.
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
Sort:
 Add All Items to Quick Collection
Add   Анализ дифракционных картин при эпитаксиальном росте Si на Si(001) в направлениях пучка электронов [110] и [100]
Authors: Соколов, Арсений Сергеевич | Кукенов, Олжас Игоревич | Дирко, Владимир Владиславович | Лозовой, Кирилл Александрович | Коханенко, Андрей Павлович
Source: Актуальные проблемы радиофизики АПР-2023 : 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 года, г. Томск : сборник трудов конференции. Томск, 2023. С. 293-294
Type: статьи в сборниках
Date: 2023
Add   Особенности осцилляций интенсивности дифракционных картин при эпитаксии Si/Si (100) и Ge/Si (100)
Authors: Кукенов, Олжас Игоревич | Дирко, Владимир Владиславович
Source: Сборник материалов XVIII Российской научной студенческой конференции "Физика твердого тела" (ФТТ-2022), 28-31 марта 2022 года, Томск, Россия. Томск, 2022. С. 42-44
Type: статьи в сборниках
Date: 2022
Description: В ходе исследования роста эпитаксиальных пленок кремния методом дифракции быстрых электронов, определён принципиально разный характер колебаний интенсивности дифракции при различных направлениях.
Add   Исследование эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и с помощью кварцевого измерителя толщины
Authors: Дирко, Владимир Владиславович | Заяханов, Владимир Александрович
Source: Физика твердого тела : сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17–20 апреля 2018 г.. Томск, 2018. С. 191-194
Type: статьи в сборниках
Date: 2018
Add   Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины
Authors: Заяханов, Владимир Александрович | Дирко, Владимир Владиславович
Source: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г.. Томск, 2018. С. 257-260
Type: статьи в сборниках
Date: 2018
Add   Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ
Authors: Дирко, Владимир Владиславович | Заяханов, Владимир Александрович | Карева, Катерина Валерьевна
Source: Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физика. Новосибирск, 2018. С. 9
Type: статьи в сборниках
Date: 2018
  • «
  • ←
  • 1
  • →
  • »
^