Authors: Артамонов, Игорь Дмитриевич | Визирь, Алексей Вадимович | Бугаев, Алексей Сергеевич | Окс, Ефим Михайлович | Шандриков, Максим Валентинович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 30-33

Type: статьи в журналах

Date: 2019

Description: Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования ма ... More

Authors: Савкин, Константин Петрович | Визирь, Алексей Вадимович | Николаев, Алексей Геннадьевич | Окс, Ефим Михайлович | Васенина, Ирина Владимировна | Шандриков, Максим Валентинович | Юшков, Георгий Юрьевич | Тюньков, Андрей Владимирович | Курзина, Ирина Александровна | Бугаев, Алексей Сергеевич

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2015. Т. 58, № 9/3. С. 135-139

Type: статьи в журналах

Date: 2015

Description: Представляются результаты исследования источника, генерирующего пучки ионов газов и металлов, для модификации поверхностных свойств органических полимеров. В качестве основы данного устройства применя ... More