Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния	791 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния
Title: Features of measuring resistivity in polycrystalline silicon
Creator: Левашкин, Андрей Геньевич
|
Башкиров, Александр Иванович
|
Лапатин, Леонид Григорьевич
|
Воронин, Дмитрий Алексеевич
|
Гончарова, Мария Александровна
Date: 2020
Description: The article is devoted to the features of measuring resistivity in polycrystalline

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Научное управление | Факультет инновационных технологий
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Инноватика - 2020 : сборник материалов XVI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 23-25 апреля 2020 г., г. Томск, Россия. Томск, 2020. С. 119-124
Language: rus

Created: 28-01-2021

832 Visitors

429 Hits

436 Downloads

Научное управление Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния