Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния
791 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния
Title
Features of measuring resistivity in polycrystalline silicon
Creator
Левашкин, Андрей Геньевич
Creator
Башкиров, Александр Иванович
Creator
Лапатин, Леонид Григорьевич
Creator
Воронин, Дмитрий Алексеевич
Creator
Гончарова, Мария Александровна
Subject
поликристаллический кремний
удельное сопротивление полупроводников
экспериментальные исследования
Date
2020
Description
The article is devoted to the features of measuring resistivity in polycrystalline
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Факультет инновационных технологий
Научное управление
Identifier
vtls:000792724
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000792724
Type
статьи в сборниках
Source
Инноватика - 2020 : сборник материалов XVI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 23-25 апреля 2020 г., г. Томск, Россия. Томск, 2020. С. 119-124
Language
rus
608 Visitors
312 Hits
321 Downloads
Preview
Факультет инновационных технологий
Научное управление
Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния
^ DIV >