Исследование генерации ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с многокомпонентным катодом

doi:10.17223/00213411/63/10/132

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Исследование генерации ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с многокомпонентным катодом	631 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/63/10/132

#вакуумно-дуговые ионные источники

#ионные пучки

#многокомпонентные среды

#медно-хромовый композит

Title: Исследование генерации ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с многокомпонентным катодом
Creator: Николаев, Алексей Геннадьевич
|
Юшков, Георгий Юрьевич
|
Кизириди, Павел Петрович
|
Прокопенко, Никита Андреевич
|
Фролова, Валерия Петровна
Date: 2020
DOI: 10.17223/00213411/63/10/132
Description: Вакуумные дуговые ионные источники находят широкое применение для модификации свойств различных поверхностей с помощью ионной имплантации. Использование в таких источниках катодов, состоящих из многокомпонентных соединений, позволяет получать пучки сложного состава, что расширяет их технологические возможности. Представлены исследования ионного пучка, генерируемого в вакуумном дуговом ионном источнике с двухкомпонентным катодом из медно-хромового композита при наложении на разрядный промежуток магнитного поля. Показано, что распределение зарядовых состояний ионов меди и хрома в пучке зависит от их соотношения в материале катода, а доли этих ионов в пучке соответствуют их атомарному содержанию в катоде. Показано, что соотношение ионов меди и хрома в плазме и ионном пучке не зависит от магнитного поля и соответствует соотношению атомов этих элементов в катоде.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2020. Т. 63, № 10. С. 132-135
Language: rus

Created: 25-11-2020

853 Visitors

862 Hits

5 Downloads

Журналы ТГУ Исследование генерации ионных пучков в вакуумном дуговом ионном источнике с многокомпонентным катодом