Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов

doi:10.17223/00213411/62/11/101

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов	395 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/62/11/101

Title: Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов
Creator: Орликов, Николай Леонидович
|
Мамбетова, Ксения Мустафиевна
|
Шандаров, Станислав Михайлович
|
Орликов, Леонид Николаевич
Date: 2019
DOI: 10.17223/00213411/62/11/101
Description: Впервые разработан метод выделения высокочастотных колебаний из плазмы высоковольтного тлеющего разряда. Метод основан на возникновении пульсаций давления при взаимодействии струи напускаемого рабочего газа с преградой. Пульсации давления создают пространственную неоднородность концентрации плазмы высоковольтного тлеющего разряда (14 кВ, 30 мА), что вызывает нестабильность горения разряда. Разница напряжения зажигания и горения разряда вкладывается в ионизационные процессы и сверхвысокочастотные (СВЧ) колебания, которые выделяются индуктивно-емкостным контуром на частоте 5 МГц. Доля мощности, переведенная в СВЧ-колебания, достигает 40 %. Апробация генератора при травлении ниобата лития показала, что поверхностный заряд с подложки снимается плазмой, а также за счет токов смещения и перезарядки. Скорость травления достигает 5 мкм/ч.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 11. С. 101-104
Language: rus

Created: 10-02-2020

635 Visitors

638 Hits

7 Downloads

Журналы ТГУ Газоразрядные генераторы высокой частоты для обработки материалов