Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники

Add to Quick Collection

Description	Size	Format
Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники	100 KB	Adobe Acrobat PDF	View Details	Download

Title: Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники
Creator: Юрин, Владимир Юрьевич
Creator: Шумейко, Алексей Семенович
Creator: Полунин, Юрий Петрович
Creator: Грибанов, Никита Сергеевич
Creator: Солдатов, Анатолий Николаевич
Subject: кремниевые подложки
лазерная сварка
хрупкие материалы
стеклянные подложки
микроэлектроника
Date: 2018

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Факультет инновационных технологий
Identifier: vtls:000666605
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000666605
Type: статьи в сборниках
Source: Лазерно-информационные технологии в медицине, биологии, геоэкологии и на транспорте – 2018 : труды XXVI Международной конференции, г. Новороссийск, Краснодарский край, 10-15 сентября 2018 г.. Новороссийск, 2018. С. 47-48
Language: rus

1504 Visitors

1331 Hits

190 Downloads

Preview

Факультет инновационных технологий Лазерная сварка хрупких материалов для микроэлектроники