Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины	392 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#эпитаксиальные слои германия

#эпитаксиальные слои кремния

#кварцевые измерители толщины

#дифракция быстрых электронов

Title: Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины
Creator: Заяханов, Владимир Александрович
|
Дирко, Владимир Владиславович
Date: 2018

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Радиофизический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Труды Пятнадцатой Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-19 мая 2018 г.. Томск, 2018. С. 257-260
Language: rus

Created: 12-04-2019

624 Visitors

383 Hits

258 Downloads

Радиофизический факультет Контроль эпитаксиального роста тонких пленок кремния и германия методами дифракции электронов и кварцевым измерителем толщины