Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05.
Авторефераты, диссертации
Моделирование кинетических процессов в аргон-силановой высокочастотной плазме пониженного давления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.02.05.