Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением	367 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением
Creator: Слабодчиков, Владимир Андреевич
|
Овчинников, Станислав Владимирович
|
Кузнецов, Владимир Михайлович (физик)
Date: 2017

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Физический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 9-13 октября 2017 года, Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2017. С. 456
Language: rus