Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда

doi:10.17223/19988621/50/7

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда	573 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/19988621/50/7

#силановая плазма

#процессы переноса в химически активной плазме

#аморфный кремний

Title: Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда
Title: Numerical analysis of the kinetics of chemical reactions in an argon-silane plasma of the glow discharge
Creator: Ляхов, Анатолий Александрович
|
Струнин, Владимир Иванович
Date: 2017
DOI: 10.17223/19988621/50/7
Description: Путем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различных компонентов плазмы. Исследуется кинетика реагентов в зависимости от времени пребывания рабочего газа в разрядной зоне. Обсуждается вопрос о количестве компонентов, включаемых в модель. Показано, что для интервалов времени t ≤ 10−2 с компоненты SinHx (n ≥ 3) не существенны для моделирования химической кинетики пленкообразующих радикалов.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Вестник Томского государственного университета. Математика и механика. 2017. № 50. С. 79-89
Language: rus

Created: 11-01-2018

966 Visitors

839 Hits

140 Downloads

Журналы ТГУ Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда