Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием	521 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#магнетронное напыление

#нанесение покрытий

#компьютерное моделирование

#ионы

Title: Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
Creator: Сайфуллин, Эльмир Равильевич
Date: 2015

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Физико-технический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 21-25 сентября 2015 г., Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2015. С. 421-422
Language: rus

Created: 07-12-2016

830 Visitors

622 Hits

214 Downloads

Физико-технический факультет Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием