Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to Quick Collection

Description	Size	Format
Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка	3 MB	Adobe Acrobat PDF	View Details	Download

Title: Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка
Creator: Ли Цзень Фень
Creator: Салтымаков, Максим Сергеевич
Creator: Гусельников, Виктор Иванович
Creator: Макеев, Вячеслав Анатольевич
Creator: Ивонин, Иван Варфоломеевич
Creator: Найден, Евгений Петрович
Creator: Юрченко, Василий Иванович
Creator: Ремнев, Геннадий Ефимович
Contributor: Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики полупроводников
Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра радиоэлектроники
Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Subject: арсенид галлия
осаждение тонких пленок
абляционная плазма
ионные пучки импульсные
коэффициент эрозии мишени
Date: 2007

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Физический факультет
Сибирский физико-технический институт
Радиофизический факультет
Журналы ТГУ
Identifier: vtls:000502363
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502363
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2007. Т. 50, № 1. С. 66-70
Language: rus

2070 Visitors

1816 Hits

282 Downloads

Preview

Радиофизический факультет < > Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка