Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si	2 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si
Creator: Калыгина, Вера Михайловна
|
Петрова, Юлианна Сергеевна
|
Толбанов, Олег Петрович
|
Черников, Евгений Викторович
|
Цупий, Светлана Юрьевна
|
Яскевич, Тамара Михайловна
|
Новиков, Вадим Александрович
Contributor: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники
-: Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
-: Томский государственный университет Радиофизический факультет Научные подразделения РФФ
-: Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Date: 2014

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Научное управление | Сибирский физико-технический институт | Радиофизический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 7. С. 989-994
Language: rus

Created: 18-12-2014

1656 Visitors

1275 Hits

417 Downloads

Научное управление Влияние термического отжига и воздействия кислородной плазмы на свойства структур TiO2-Si