Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Add to Quick Collection
Description
Size
Format
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
508 KB
Adobe Acrobat PDF
View Details
Download
Title
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
Creator
Герасименко, Николай Николаевич
Creator
Старков, В. В.
Creator
Медетов, Нурлан Амирович
Creator
Токмолдин, Серекбол Жарылгапович
Creator
Гостева, Е. А.
Creator
Тыныштыкбаев, К. Б.
Contributor
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Subject
анодное травление кремния
кремний
трещины
Date
2014
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Научное управление
Identifier
vtls:000495288
http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000495288
Type
статьи в журналах
Source
Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 8. С. 1117-1122
Language
rus
1386 Visitors
892 Hits
518 Downloads
Preview
Научное управление
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
^ DIV >