Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Preview
Add to "Quick Collection"
Description
Size
Format
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
508 KB
Adobe Acrobat PDF
Read
Download
#анодное травление кремния
#кремний
#трещины
Title
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
Creator
Герасименко, Николай Николаевич
|
Старков, В. В.
|
Медетов, Нурлан Амирович
|
Токмолдин, Серекбол Жарылгапович
|
Гостева, Е. А.
|
Тыныштыкбаев, К. Б.
Contributor
Томский государственный университет Научное управление Лаборатории НУ
Date
2014
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Научное управление
Identifier
смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type
статьи в журналах
Source
Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48, вып. 8. С. 1117-1122
Language
rus
Created: 18-12-2014
1532 Visitors
1009 Hits
547 Downloads
Научное управление
О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению
^ DIV >