Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка	564 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

Title: Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
Creator: Гудымович, Елена Никифоровна
|
Фролова, Ульяна Михайловна
Contributor: Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
-: Томский государственный университет Химический факультет Публикации студентов и аспирантов ХФ
Date: 2013

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Химический факультет
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в сборниках
Source: Полифункциональные химические материалы и технологии : материалы Всероссийской с международным участием научной конференции, Томск, 21-23 ноября 2013 г.. Томск, 2013. С. 16-17
Language: rus