Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10.

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия	33 MB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#Физика полупроводников и диэлектриков

#диссертации

#арсенид галлия, примеси

#эпитаксиальные слои, выращивание

#рост кристаллов из газовой фазы

#эпитаксиальные слои, легирование

#полупроводниковые материалы

Title: Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10.
Creator: Торопов, Сергей Евгеньевич
|
Лаврентьева, Людмила Германовна (научный руководитель)
Contributor: Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
Date: 1988
Publisher: Томск : [б. и.]

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Авторефераты, диссертации
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: диссертации
Language: rus

Created: 04-05-2022

375 Visitors

375 Hits

1 Downloads

Авторефераты, диссертации Кинетика и механизм захвата примеси при газофазовой эпитаксии арсенида галлия : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10.