Please be patient while the object screen loads.
Электронная библиотека (репозиторий)
Томского государственного университета
English
Русский
Home
Show
All
Show
Quick Collection
Browse ↓
Communities & Collections
By Title
By Creator
By Subject
By Date
Additional Resources
Search History
Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
-
Сделать пожертвование
-
Advanced Search
Preview
Add to "Quick Collection"
Description
Size
Format
Основы фотолитографии
1 MB
Adobe Acrobat PDF
Read
Download
#электронные учебники
#фотолитография
#электронная техника
#фотохимические реакции
#пластины (фотолитография)
#загрязнение поверхности пластины (фотолитография)
#вакуумная гигиена
#фоторезисторы
#фотошаблоны
#подложки
#перенос изображения
#фотолитографические процессы плазменные
#фотослои
#изображения (фотолитография)
#полупроводниковое материаловедение
#планирование эксперимента
#методы оптимизации
#физико-химическая обработка
#безопасность работы
#программы учебных курсов
Title
Основы фотолитографии : учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия]
Creator
Гудымович, Елена Никифоровна
|
Гавриленко, Наталия Айратовна
Contributor
Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Date
2009
Publisher
Томск
Description
Загл. с экрана
-
Томск, 2009
-
Получено из издательства
Relationships
Show Relationship Browser for this Object
collection(s)
Химический факультет
Identifier
смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type
учебные издания
Language
rus
Created: 28-06-2012
2601 Visitors
2709 Hits
18 Downloads
Химический факультет
Основы фотолитографии : учебное пособие : [для вузов по специальности ВПО 020101.65 - химия]
^
2601 Visitors
2709 Hits
18 Downloads
