Моделирование перераспределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки: магистерская диссертация по направлению подготовки: 16.04.01 - Техническая физика
Физико-технический факультет
Моделирование перераспределения ионов в цилиндрической камере магнетронной установки: магистерская диссертация по направлению подготовки: 16.04.01 - Техническая физика