Измерение методом дифракции быстрых электронов параметров эпитаксиальных структур Ge/Si при молекулярнолучевой эпитаксии: магистерская диссертация по направлению подготовки: 12.04.03 - Фотоника и оптоинформатика
Радиофизический факультет
Измерение методом дифракции быстрых электронов параметров эпитаксиальных структур Ge/Si при молекулярнолучевой эпитаксии: магистерская диссертация по направлению подготовки: 12.04.03 - Фотоника и оптоинформатика