Исследование плазмы, образующейся при импульсном сильноточном магнетронном распылении графита: магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика
Физический факультет
Исследование плазмы, образующейся при импульсном сильноточном магнетронном распылении графита: магистерская диссертация по направлению подготовки: 03.04.02 - Физика