Исследование неоднородностей магнитных характеристик тонких пленок, полученных технологией магнетронного напыления

doi:10.17223/00213411/69/4/9

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Исследование неоднородностей магнитных характеристик тонких пленок, полученных технологией магнетронного напыления	789 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/69/4/9

#одноосная магнитная анизотропия

#эффективная намагниченность насыщения

#сканирующие спектрометры ферромагнитного резонанса

#тонкие магнитные пленки

Title: Исследование неоднородностей магнитных характеристик тонких пленок, полученных технологией магнетронного напыления
Title: Nonuniformities in magnetic characteristics of thin films produced by magnetron sputtering
Creator: Беляев, Борис Афанасьевич
|
Боев, Никита Михайлович
|
Изотов, Андрей Викторович
|
Скоморохов, Георгий Витальевич
|
Соловьев, Платон Николаевич
Date: 2026
DOI: 10.17223/00213411/69/4/9
Description: Разработана магнитная система Хальбаха, создающая однородное поле в плоскости тонких магнитных пленок (ТМП) при их изготовлении по технологии магнетронного напыления. Магнитное поле системы превышает по величине градиентное поле магнетрона примерно в 60 раз на площади 60×48 мм². Это позволяет существенно уменьшить неоднородности распределения магнитных характеристик ТМП по площади образцов. Система сконструирована на основе четырех магнитных линеек, каждая из которых состоит из 8 кобальт-самариевых магнитов размерами 10×10×10 мм. Факт уменьшения неоднородностей распределений магнитных характеристик по площади ТМП подтвержден измерениями на сканирующем спектрометре ферромагнитного резонанса 12 образцов толщиной ~ 55 нм, полученных одновременно распылением мишени состава Ni₈₀Fe₂₀ на подложки из кварцевого стекла размерами 12×12×0.5 мм.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Relation: Известия высших учебных заведений. Физика
Rights: Ограниченный доступ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2026. Т. 69, № 4. С. 82-92
Language: rus

Created: 08-06-2026

2 Visitors

2 Hits

0 Downloads

Журналы ТГУ Исследование неоднородностей магнитных характеристик тонких пленок, полученных технологией магнетронного напыления