Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия	690 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#микроволновой резонансный метод

#кремний

#германий

#экспериментальные исследования

Title: Применение СВЧ-резонаторного метода для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия
Title: Application of microwave resonator method for measuring specific resistance of epitaxial films of silicon and germanium
Creator: Левашкин, Андрей Геньевич
|
Шабанова, Анастасия Андреевна
|
Дирко, Владимир Владиславович
|
Кукенов, Олжас Игоревич
Date: 2025
Description: В данной работе исследуется применение микроволнового резонансного метода для неразрушающего измерения удельного сопротивления эпитаксиальных пленок кремния и германия. Описывается экспериментальная установка, состоящая из генератора, резонатора, измерителя КСВ и устройства для измерения амплитуды. Калибровочные измерения проводились с использованием образцов с известными значениями удельного сопротивления, в результате чего была получена калибровочная кривая, связывающая амплитуду с удельным сопротивлением. Пригодность установки для определения удельного сопротивления демонстрируется на основе полученной экспериментальной зависимости. Этот метод предлагает ценный подход для неразрушающей характеризации удельного сопротивления эпитаксиальных пленок.