В работе представлены результаты анализа гетероэпитаксиального роста Ge на Si(100) методом дифракции быстрых отраженных электронов. Исследована динамика длины димерных рядов сверхструктуры 2xN в процессе роста для широкого диапазона температур 200 - 750 °C. Экспериментально установлены зависимости количества монослоев Ge, необходимые для появления рефлекса 1/N, и количества монослоев Ge до выхода параметра 1/N на максимальное значение от температуры, а также получены зависимости изменения N в процессе роста для разных температур синтеза.