Немонотонная зависимость плотности плазмы от давления газа магнетронного разряда с мишенью из бора

doi:10.17223/00213411/68/7/2

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Немонотонная зависимость плотности плазмы от давления газа магнетронного разряда с мишенью из бора	637 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/68/7/2

#магнетронный разряд

#плотность плазмы

#зондовые измерения

#борсодержащие покрытия

Title: Немонотонная зависимость плотности плазмы от давления газа магнетронного разряда с мишенью из бора
Title: Nonmonotonic dependence of plasma density on gas pressure in magnetron discharge with a boron target
Creator: Юшков, Георгий Юрьевич
|
Гридилев, Вадим Дмитриевич
Date: 2025
DOI: 10.17223/00213411/68/7/2
Description: Представлены результаты исследований магнетронного разряда с мишенью из бора при постоянном токе уровня 50 мА и давлении рабочего газа в диапазоне 0.1–2 мТорр. Экспериментально показано, что как в случае мишени из бора, так и в контрольных экспериментах с мишенью из меди наблюдается немонотонная зависимость плотности плазмы разряда от давления с минимумом плотности в области давления около 0.3 мТорр. Сделан вывод, что такая немонотонная зависимость обусловлена влиянием двух противоположных тенденций: уменьшения ионизации газа при снижении давления с 1.2 до 0.3 мТорр, при котором значительных изменений параметров разряда еще не происходит, и роста ионизации за счет повышения энергии и количества γ-электронов с катода (мишени), а также температуры электронов плазмы при резком увеличении напряжения горения разряда при дальнейшем снижении давления от 0.3 до 0.1 мТорр.