Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности

doi:10.17223/00213411/68/2/9

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности	406 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/68/2/9

#полупроводниковые кристаллы

#двухзондовый метод

#удельная электропроводность

#граничные условия

#асимптотический анализ

Title: Контроль однородности полупроводниковых пленок в процессе проведения зондовых измерений удельной электропроводности
Creator: Заворотний, Анатолий Анатольевич
|
Ершов, Александр Анатольевич
|
Филиппов, Владимир Владимирович (физик)
|
Лузянин, Сергей Евгеньевич
Date: 2025
DOI: 10.17223/00213411/68/2/9
Description: Рассмотрены основные выражения, позволяющие определять значение удельной электропроводности в полупроводниковых пластинах и пленках прямоугольной и круглой формы при двухзондовом методе измерений на постоянном токе. На основе асимптотического анализа получены приближенные удобные для расчетов формулы для разности потенциалов между измерительными зондами. Показано, что в большинстве практически используемых случаев предлагаемые асимптотические формулы можно использовать без увеличения измерительной погрешности в случаях контроля однородности распределения электрофизических параметров исследуемых образцов.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Rights: Resource access is available in the premises of Research Library
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2025. Т. 68, № 2. С. 82-91
Language: rus