Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек

doi:10.17223/00213411/67/5/2

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек	386 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download
DOI Доступ к ресурсу на сайте издателя			10.17223/00213411/67/5/2

#ионно-лучевое распыление

#оксид титана

#оксид кремния

#дисперсия

#интерференционные покрытия

Title: Просветляющие интерференционные оксидные покрытия среднего ИК-диапазона для полупроводниковых оптических подложек
Title: Mid-IR antireflective interference oxide coatings for semiconductor optical substrates
Creator: Юдин, Николай Николаевич
|
Зиновьев, Михаил Михайлович
|
Подзывалов, Сергей Николаевич
|
Кузнецов, Владимир Сергеевич
|
Слюнько, Елена Сергеевна
|
Габдрахманов, Акмаль Шамилович
|
Лысенко, Алексей Борисович
|
Кальсин, Андрей Юрьевич
Date: 2024
DOI: 10.17223/00213411/67/5/2
Description: Определены дисперсии показателя преломления и коэффициента поглощения для монослоев оксида титана и оксида кремния. Разработан дизайн многослойного просветляющего оптического покрытия данных материалов в спектральном диапазоне 0.4–8 мкм. Подобраны режимы нанесения покрытия методом ионно-лучевого распыления на полупроводниковую подложку. Измерены оптические характеристики четырехслойного интерференционного покрытия с просветлением подложки ZGP в диапазоне 2097 нм и 3.5–5 мкм, с остаточным отражением R ≤ 0.2% и R ≤ 2.1% соответственно. Проведены тесты на адгезию и истирание покрытия согласно ГОСТ.