Проведены экспериментальные исследования влияния барьерного слоя на кинетику термически индуцированных процессов диффузии и фазовых превращений в слоистой системе Fe–Be при энергии ~ 1.6 МэВ. В результате установлена термическая стабильность барьерного слоя в системе Fe:O+ и показана возможность применения в качестве подповерхностного слоя для бериллиевого покрытия; в системе Cu:О+ показано, что уже при температуре отжига ~ 180 ºС происходит «расползание» имплантированного слоя в матрице, следовательно, данный слой в матрице меди не может быть применен в качестве подповерхностного барьерного слоя. Впервые предложен и реализован метод замедления процессов диффузии и фазообразования в слоистой системе железо – бериллий с помощью имплантированного слоя ионов кислорода. Определена последовательность и характерные времена термически индуцированных процессов фазовых превращений в приповерхностных слоях и в объеме систем Fe (10 мкм): O⁺ – Be (0.7 мкм) – ⁵⁷Fe (0.1 мкм) и Fe (10 мкм) – Be (0.7 мкм) – ⁵⁷Fe (0.1 мкм).