Развита теория ионного распыления металла в виде возбужденных нейтральных и заряженных кластеров с их последующей фрагментацией до стабильного состояния, основанная на простых физических предположениях и находящаяся в неплохом согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде удобных для использования формул. В качестве примера проведены расчеты полных выходов стабильных нейтральных и заряженных кластеров серебра, индия и ниобия.