Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Эндаумент фонд ТГУ!
Впиши своё имя в историю университета
- Сделать пожертвование -

Add to "Quick Collection"

Description	Size	Format
Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда	478 KB	Adobe Acrobat PDF	Read	Download

#плазма аргон-силановая

#тлеющий разряд

#метастабильные состояния аргона

#заселенность состояний

#высокочастотные разряды

#осаждение тонких пленок

#тонкие пленки аморфного кремния

Title: Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда
Creator: Байсова, Бибигуль Тулегеновна
|
Демин, Александр Сергеевич
|
Пушкарев, Алексей Александрович
|
Струнин, Владимир Иванович
|
Худайбергенов, Гамзат Жапарович
Date: 2013
Description: Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14–30 станд. см3/мин) и от колебательной мощности генератора (10–50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон – силан (95 % Ar + 5 % SiH4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0,5–5 %) в аргон-силановой смеси.

Relationships: Show Relationship Browser for this Object
collection(s): Журналы ТГУ
Identifier: смотреть в электронном каталоге НБ ТГУ
Type: статьи в журналах
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 1. С. 63-67
Language: rus