Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Title

Структура и свойства покрытий на основе Ti–O–N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления

Version

1.5

Pages

6

Size

315 KB

Producer

Acrobat Distiller 7.0.5 (Windows)