Методами ОЭС, СХПЭЭ, ДМЭ и КРП в сверхвысоком вакууме исследованы адсорбционно-эмиссионные свойства и стабильность двойных пленочных систем, образующихся при нанесении атомов Ti, Cr и Cu на поверхности MgO – Mo(011), Al2O3 – Mo(011). Все атомы проявляют свойства электроотрицательных адсорбатов. На поверхности системы Al2O3 – Mo(011) образуются сплошные монослои адатомов, а на MgO – Mo(011) – трехмерные островки. Свойства моноатомных пленок на поверхности слоев оксидов близки к наблюдающимся для массивных материалов. Не обнаружено кардинальных изменений свойств систем с ростом толщины диэлектрических прослоек. Термическая устойчивость сформированных структур уменьшается в последовательности Ti, Cr, Cu, Al2O3(MgO), Mo(011).